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本发明的目的在于提供一种能够高效地生产高品质的碳纳米管集合体的碳纳米管集合体的制造方法。本发明涉及一种使碳纳米管集合体在表面具有催化剂的基材上生长的制造方法。在该制造方法中，分别在形成单元和生长单元中使用运送单元连续地运送基材，所述形成单元进行使基材上的催化剂成为还原状态的形成工序，所述生长单元进行使碳纳米管集合体生长的生长工序，所述运送单元通过螺杆旋转来运送基材。而且，在实施形成工序和生长工序时，在防止这些工序中的气体环境相互混入的同时实施这两个工序。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114929621 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202180008111.5 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事
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