母线和叉指换能器指状物端部之间具有窄间隙的横向激励薄膜体声波谐振器.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.97万字
约 23页
2023-05-20 发布于北京
举报
版权申诉

母线和叉指换能器指状物端部之间具有窄间隙的横向激励薄膜体声波谐振器.pdf

1、本文档共23页，其中可免费阅读22页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

声波谐振器，具有附接到衬底表面的压电板，除了压电板的一部分未附接到衬底表面，压电板的一部分形成跨越衬底中的空腔的隔膜。在板上形成的叉指换能器(IDT)，在隔膜上具有交错的指状物，第一平行指状物从第一母线延伸，第二平行指状物从IDT的第二母线延伸。交错指状物之间的距离定义了IDT间距。IDT在第一多个平行指状物末端与第二母线之间具有间隙距离，以及在第二多个平行指状物末端与第一母线之间具有间隙距离；并且间隙距离小于IDT间距的2/3倍。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114928345 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210135439.X (22)申请日 2022.02.14 (30)优先权数据 63/148,803 2021