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一种半导体处理工具的吸盘真空管线包含:第一部分,其穿过所述半导体处理工具的主泵管线的侧壁。所述吸盘真空管线包含:第二部分,其实质上平行于所述主泵管线的所述侧壁和所述主泵管线中的流动方向。所述第二部分的尺寸在所述第二部分的入口端与所述第二部分的出口端之间沿着所述主泵管线中的所述流动方向增大。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114927455 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210201303.4
(22)申请日 2022.03.03
(30)优先权数据
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