光罩及其检测方法、装置、设备及介质.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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光罩及其检测方法、装置、设备及介质.pdf

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本公开实施例涉及一种光罩及其检测方法、装置、设备及介质，所述光罩包括光罩本体及设置于光罩本体的光校准标记；光罩本体包括沿第一方向依次叠置的第一材质的基底、第二材质的第一图案层及第三材质的第二图案层，第一图案层及第二图案层用于共同限定光罩的转移图形；光校准标记包括沿第二方向依次排布的第一材质的第一标记图形、第二材质的第二标记图形及第三材质的第三标记图形；其中，第一方向与第二方向垂直。本公开实施例提高对光罩进行缺陷检测的效率及精度，从而提高制备半导体产品的良率及可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114911130 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210490454.6 (22)申请日 2022.05.07 (71)申请人长鑫存储技术有限公司地址 230