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本申请涉及一种旁轴射流水辅激光与微铣复合加工微通道的装置及其方法，其涉及微细加工设备技术领域，其中装置包括安装于微细机床上的基座、安装于基座上的机床X‑Y可移动平台，位于机床X‑Y可移动平台上的微型测力仪，微型测力仪上方安装工件；通过激光器与旁轴射流器对工件进行水辅激光加工；大长径比微径铣刀对工件进行微细铣削加工，多自由度CCD电子显微镜I与激光器可拆卸连接，多自由度CCD电子显微镜II与气浮高速电主轴可拆卸连接；储液箱安装于微型测力仪上且工件位于储液箱内，储液箱与废液回收器连接。本申请具有将激
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114918670 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210651943.5
(22)申请日 2022.06.10
(71)申请人 江苏理工学院
地址 213001
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