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本发明涉及一种具有双三维全包围保护环的X射线检测器及制备方法。其包括具有第一导电类型的衬底以及制备于所述衬底中心区的像素单元区，其中，所述像素单元区与所在衬底的正面对应；在所述衬底内设置用于吸收表面电流并降低电场梯度的第二导电类型保护内环以及用于隔离切割面漏电的第一导电类型保护外环，其中，所述第一导电类型保护外环以及第二导电类型保护内环均环绕包围像素单元区，第二导电类型保护内环位于第一导电类型保护外环所围合的区域内。本发明能有效减少保护环死区，提高击穿电压，降低机械划片切割的影响，提高制备的良率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114927535 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210549577.2
(22)申请日 2022.05.20
(71)申请人 无锡华芯微探科技有限公司
地址 2
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