一种物料调度方法和一种半导体工艺设备.pdfVIP

下载本文档

1
0
约3.01万字
约 25页
2023-05-20 发布于北京
举报
版权申诉

一种物料调度方法和一种半导体工艺设备.pdf

1、本文档共25页，其中可免费阅读24页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明实施例提供了一种物料调度方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：在采用局部最优算法挑选高优先级物料的过程中，若一个所述预抽充腔室中同时存在从片盒传出未进行工艺的第一物料和完成工艺需传回所述片盒的第二物料，则将所述第一物料添加至高优先级物料暂存列表中；在不存在最佳的可交换物料但存在最佳的不可交换物料的情况下，将所述最佳的不可交换物料添加至所述高优先级物料暂存列表中；将当前处于所述高优先级物料暂存列表中的物料确定为高优先级物料；基于所述高优先级物料确定物料调度的调度动作序列。根据本发明实施例，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114927430 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210403425.1 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人西安北方华创微电子装备有限公司地址