一种晶圆装卸挂具设备.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种晶圆装卸挂具设备.pdf

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本发明提供一种晶圆装卸挂具设备，包括主支架、后盖卸装单元、挂具夹持单元、晶圆顶出单元、密封圈吹扫机构和视觉检测机构，密封圈吹扫机构用于在挂具上晶圆被顶出后，对挂具上密封圈产生吹扫气流；视觉检测机构用于在挂具上晶圆被顶出后，采集挂具上密封圈图像并判定密封圈上是否有异物残留。采用本发明技术方案，在上一片晶圆电镀完成后、下一片晶圆安装前，能够及时清理挂具密封圈异物，确保晶圆与密封圈保持良好的密封性能，防止晶圆碎片发生和电镀液的渗漏，提升晶圆电镀镀层的均一性，提高挂具使用寿命。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114908403 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210387473.6 (22)申请日 2022.04.13 (71)申请人上海戴丰科技有限公司地址 201