一种带有自辨别自检测效果的高精度晶圆喷涂设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.45万字
约 18页
2023-05-20 发布于北京
举报
版权申诉

一种带有自辨别自检测效果的高精度晶圆喷涂设备.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及芯片生产技术领域，尤其涉及一种带有自辨别自检测效果的高精度晶圆喷涂设备，包括真空工作箱、载片台、高精度喷嘴单元、控制模块。本发明通过在真空工作箱内增加若干浓度检测单元和表面覆着度检测单元来检测喷涂工作过程中或结束时的晶圆片喷涂是否满足预设标准，并在喷涂过程中通过控制模块判断是否需要开启/调整真空工作箱的真空抽气泵，并调整高精度喷嘴单元的位置、高精度喷头喷孔的流量、带泵储液箱的供液流量，用以基于当前晶圆片正在被加工或结束时的状态数据对喷涂工作方案进行临时调整及再补救，保障喷涂作业过程中的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114904692 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210591307.8 B05B 15/68 (2018.01)