一种碳化钨绑定靶材及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种碳化钨绑定靶材及其制备方法.pdf

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本发明提供一种碳化钨绑定靶材及其制备方法，该碳化钨绑定靶材包括背板，硬质钎料钎焊层，背金层和碳化钨靶坯；背金层位于碳化钨靶坯的焊接面上，钎焊层位于背板和背金层之间。该方法采用硬质钎料作为钎焊层，解决了采用软钎料进行绑定焊接时，因钎焊层熔点低而造成的成膜速率慢，以及冷却不好的情况下绑定焊接层易熔化开裂的问题。同时，在钎焊层和靶材之间设置背金层进行过渡，有效改善了硬质钎料钎焊层与靶材之间的润湿性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114918576 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210726266.9 C23C 14/32 (2006.01)