光栅尺的并行同步制备系统.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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光栅尺的并行同步制备系统.pdf

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本发明涉及光学制造技术领域，公开一种光栅尺的并行同步制备系统，以提高光栅尺的制备精度和效率。系统包括送料装置、收料装置、夹具及光刻模组；夹具在工作台面的水平方向上设有平行的对应至少两条光栅尺基带的尺槽，并设置有用于在光刻时将各光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构；该联动机构还用于在电机牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中，释放部分压紧作用力并继续保持各光栅尺基带处在夹具工作台面上的拉直状态；光刻模组用于将预先设置图样中相间隔的至少两条平行光栅尺排布的像素信息与各光栅尺基

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114918552 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210730297.1 (22)申请日 2022.06.24 (71)申请人长沙麓邦光电科技有限公司地址 4