一种激光反射镜冷却结构及激光反射镜.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种激光反射镜冷却结构及激光反射镜.pdf

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本发明公开一种激光反射镜冷却结构及激光反射镜，冷却结构包括多条相互独立的冷却流道，各冷却流道分别设置在激光反射镜中心区域和外周区域，并且，在所述中心区域的冷却流道通入的冷却介质温度低于所述外周区域的冷却流道通入的冷却介质温度。本发明可以使得激光反射镜温度在激光能量密度高与能量密度低的地方都能够温度趋于一致，极大程度地提高了温度均匀性，而且反射镜温度与环境温度也趋于一致，在对反射镜固定约束后，热变形量也会很小，达到高精度退火工艺的需求。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114927922 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210539470.X (22)申请日 2022.05.18 (71)申请人北京华卓精科科技股