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本公开涉及一种测量柔性薄膜模量和密度的装置及方法、电子设备和存储介质,包括:基座、条带、传感器、拉伸驱动器、振动驱动器、计算机设备。条带两侧用于固定待测薄膜。在两种振动模态下,传感器测量条带的振动频率,计算机设备基于两种振动模态确定所述待测薄膜的模量及密度;使得待测薄膜的模量、密度解耦,并且可以同时测量出模量和密度,提高了测量效率。而且,振动驱动器可以在拉伸驱动器的配合下使所产生的两种振动模态在受力方向上有所区别,使得所产生的振动模态更全面,对于确定待测薄膜的模量、密度更具有说服力,也使得本公开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114923986 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210539757.2
(22)申请日 2022.05.17
(71)申请人 清华大学
地址 100084 北京
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