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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器制造方法,所述垂直腔面发射激光器包括自下而上依次排列的有源层、氧化限制层、上反射层、上电极,氧化限制层中间设置有氧化孔,上电极中间设置有与所述氧化孔同心且孔径大于氧化孔孔径的出光孔,上反射层中设置有与所述出光孔垂直方向投影同心的环状高电阻区,环状高电阻区的内径大于出光孔孔径;本发明提前制作上电极,并在上电极制作过程中以上电极金属膜作为掩模进行质子注入,形成环状高电阻区,然后对上电极金属膜进行刻蚀,从而得到与环状高电阻区准确对准的上电极。本发明还公开了一种垂直腔面
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114927938 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202210543658.1
(22)申请日 2022.05.18
(71)申请人 苏州长瑞光电有限公司
地址 215
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