一种介电常数测量装置及方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种介电常数测量装置及方法.pdf

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本申请实施例提供了一种介电常数测量装置及方法，适用于太赫兹技术领域。该方法包括：通过基于结构改进后的人工等离激元波导的介电传感器结构，在太赫兹频段对介电材料的介电常数进行测量，具体地，通过改变波导特定部分金属层几何参数，使得波导的功能由传输变为传感，然后根据不同介电常数的样品会使该介电传感器的谐振峰中心频率偏移，通过谐振峰中心频率的偏移量计算出待测样品的介电常数。执行该方法的装置包括基于的人工等离激元波导，其具有结构简单、易加工、灵敏度良好等优点。该测量介电常数测量方法能够对微量小样品的介电常数

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114924129 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210402636.3 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人深圳大学地址 518060 广