一种微通道换热器及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种微通道换热器及其制作方法.pdf

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本发明提供一种微通道换热器及其制作方法，涉及半导体结构制造领域。该微通道换热器及其制作方法，包括扁平管，所述扁平管内部左侧与内部右侧均固定连接一组导流管，所述扁平管内部设置有换热腔，所述换热腔内固定连接多组均匀横向排列的分隔翅片。通过再通过将W形插入翅片插入至分隔翅片之间，利用W形插入翅片的形状特性，生成稳定翅片固定结构，且增加了输送通道，增加换热距离，提高换热的质量，经过打磨抛光后得到坯件B，将坯件B浸泡至铝溶液A内，直至铝溶液A完全覆盖坯件B，取出坯件B，并冷却至80摄氏度，为导热换热的翅片

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114909940 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210340723.0 B22D 19/16 (2006.01) (22)申请日 2022.04.