一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统及其方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统及其方法.pdf

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本发明公开了一种有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统及其方法，所述散热机构包括第一固定板、第二固定板和第三固定板，所述第一固定板通过安装机构设置有坩埚，所述第二固定板的顶部左右对称贯穿开设有转动槽，本发明涉及单晶硅生产技术领域。该有效抑制300mm重掺砷MCZ单晶放肩NG的系统及其方法，通过在第一固定板、第二固定板、第三固定板、安装机构、坩埚、转动槽、转轴、转动臂、气缸、第一螺纹杆、定位机构、弹簧、第一连接板、第二连接板和封板的配合使用下，解决了现有的放肩过程中由于温度把握不准确造成

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114921844 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210434887.X C30B 15/04 (2006.01) (22)申请日 2022.04.