缺陷检查装置及缺陷检查方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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缺陷检查装置及缺陷检查方法.pdf

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所述缺陷检查装置(100)包括：激振部，激发弹性波；照射部(2)，对激光进行照射；测定部(3)，对经干涉的激光进行测定；以及控制部，通过使激振部为了对检查对象(P)激发弹性波而产生的激振振动的频率变化，针对多个频率，获取与检查对象(P)受到激发而产生的弹性波的状态相关的信息即振动状态信息，并且基于所获取的针对多个频率的振动状态信息，从多个频率中提取被推荐用于检查对象(P)的缺陷检查的推荐频率(F)。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114930168 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202080091392.0 (74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有