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本公开的一个观点的信息处理装置具有处理器和存储装置，处理器取得从光源装置和曝光装置各装置提供的每个参数的数据和与数据相关联的时刻数据，该光源装置生成脉冲光，该曝光装置通过从光源装置输出的脉冲光对晶片进行曝光，根据取得的数据和时刻数据，按照与相同的时刻数据相关联的数据的每个记录，进行区分是脉冲光被照射到晶片的曝光时的数据、还是曝光时以外的非曝光时的数据的分类，将与分类对应的属性信息关联起来，使存储装置存储与属性信息相关联的数据和时刻数据，使用从存储装置读出的数据生成图表。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114930254 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202080091680.6 (51)Int.Cl.
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