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提供了一种用于OCD计量的系统和方法，包括接收参考参数、接收多组测量散射数据、和接收设计为根据一组图案参数生成一组或多组模型散射数据的光学模型，以及通过在训练期间应用包括参考参数的目标特征以及通过应用包括测量散射数据集和模型散射数据集的输入特征来训练机器学习模型，使得训练后的机器学习模型从后续测量的散射数据集估算新的晶片图案参数。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114930117 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202080092010.6 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限
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