光罩版夹取方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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光罩版夹取方法.pdf

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本发明公开了一种光罩版夹取方法，用于夹住光罩版，所述光罩版夹取方法包括：S10：将光罩版夹取装置的夹块卡装至所述光罩版的一个侧边；S20：利用光罩版夹取装置的锁紧件将所述夹块固定至所述光罩版；S30：通过所述光罩版夹取装置移动所述光罩版。先利用夹块夹住光罩版，随后利用锁紧件作用夹块，从而使夹块夹住并移动光罩版，可以避免光罩版意外滑落，进而避免光罩版摔碎报废。操作人员通过光罩版夹取装置操作光罩版，能够避免双手直接接触光罩版，进而避免光罩版留下手指印，避免造成光罩版玻璃污染，也能避免光罩版玻璃伤到操

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114906531 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210568338.1 (22)申请日 2022.05.23 (71)申请人上海图灵智算量子科技有限公司地址