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蒸发式真空卷绕镀膜机设计
摘要
蒸发式真空卷绕镀膜机是一种在真空环境下运用不同方法在柔性材料上实现连续镀膜的设备。镀膜机主要由真空系统、蒸发系统、卷绕系统和屏蔽机构四部分组成。其特点是成本低,易操作,生产率高等。本文主要内容是在BRCM-1500型柔性桥式卷绕镀膜机的基础上进行优化和改进。对真空系统、真空室内的组织结构进行设计、计算与校核。对靶位的位置与距离也进行设计。主要解决的关键问题是真空室内辊子种类与辊子的运动参数进行计算。膜材张力的控制和膜厚的控制与检测。
关键词:镀膜机蒸发改进辊子
ABSTRACT
Evaporative vacuum winding coating machine is a device that uses different methods to realize continuous coating on flexible materials under vacuum environment. The coating machine is mainly composed of four parts: vacuum system, evaporation system, winding system and shielding mechanism. It is characterized by low cost, easy operation, and high productivity. The main content of this article is to optimize and improve on the basis of BRCM-1500 flexible bridge winding film coating machine. Design, calculate and check the organization structure of the vacuum system and the vacuum chamber. The position and distance of the target position are also designed. The key problem to be solved is to calculate the types of rollers in the vacuum chamber and the motion parameters of the rollers. Control of film tension and control and detection of film thickness.
Keywords:Coating machine、evaporation、improve、roller
目录
TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章绪论 4
1.1概述 4
1.2国内外发展现状 6
1.3卷绕镀膜机工作流程 6
第二章真空镀膜机卷绕系统结构设计 8
2.1真空镀膜机的结构组成 8
2.2 真空镀膜机卷绕系统结构方案 9
2.3 真空镀膜机卷绕系统计算 11
2.3.1镀膜机卷绕镀膜要求 11
2.3.2 真空镀膜机相关配置 11
2.3.3 张力对镀膜的影响 12
2.3.4恒张力控制的方法 16
2.4抽气系统设计 17
2.4.1镀膜机放气量的计算 17
2.5真空室设计 19
2.5.1真空室材料选择 19
2.5.2真空泵的选择 19
第三章电机及辊轴的选择 20
3.1电机的选用 20
3.1.1 主辊(冷却辊)交流伺服电机的选用 20
3.1.2 收卷用AC伺服电机的选用 22
3.2 轴的选择及设计计算 23
3.2.1 主辊轴的设计 23
3.2.2 放卷辊轴的设计 24
3.2.3收卷辊轴的设计 25
第四章总结 27
第五章参考文献 28
第六章致谢 30
第一章绪论
1.1概述
随着国家经济的飞速发展,我国真空镀膜设备作为真空应用中的一大分支,在工业中的应用也越来越多。随着真空设备运用的多,对设备的要求也更严格;但是现在国内的设计和制造水平不算顶尖,因此,加强我国真空设备的研制水平已经是迫在眉睫的事情。
从镀膜方式上分类,镀膜机可以分为蒸发镀膜、离子镀膜和溅射镀膜三种,蒸发镀膜的原理是利用热靶材将原材料以原子团或者离子的形式蒸发出来,然后沉降在需要被镀膜的材料表面,最终形成膜的过程。离子镀膜的原理是利用真空条件下,使气体放电或者使被蒸发物质电离,通过上述物质的轰击,将蒸发物质或反应物沉积在物体表
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