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一种用于制作和放置薄片的装置包含聚焦离子束、扫描电子显微镜和用于放置至少两个样品的工作台，所述工作台实现所述样品的倾斜、旋转和移动，所述装置还包含由用于附接和传送所述样品的针终止的机械手。所述机械手定位于垂直于所述样品的倾斜的轴线的平面中，藉此实现轻松地传送所述薄片并将其放置入透射电子显微镜的样品架(称为网格)。所述机械手经调整以围绕其自身的轴线旋转所述针。因此，在从半导体装置制作薄片的情况下，本发明实现反转薄片并且在上面形成有半导体结构的半导体衬底层上将其抛光。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112166486 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 201980035390.7 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所
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