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触摸屏制造工艺实战与难点[二]ITO 图形制备工艺
[二]ITO 图形制备工艺
透亮导电氧化物薄膜主要包括号 In、Zn、Sb 和Cd 的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料,具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低,对紫外线的吸取率大于 85%,对红外线的反射率大于 70%等特性。透亮导电薄膜以掺锡氧化铟〔Indium TinOxinde〕 ITO 为代表,广泛地应用于平板显示、太阳能电池、特别功能窗口涂层及其它光电器件领域,它的特性是当厚度降到 1800 埃 (1 埃 =10- 10 米 )以下时会突然变得透亮,透光率为80%,再薄下去透光率反而下降,到 300 埃厚度时又上升到 80%。I
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