有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共27页，其中可免费阅读26页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明是曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法。透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112162465 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010960580.4
(22)申请日 2016.03.31
(30)优先权数据
您可能关注的文档
- 一种桑黄抗肺癌细胞增殖的有效成分制备方法.pdf
- 一种列车仿真系统和平台.pdf
- 一种基于真随机数发生器的雷达测距系统及其测距方法.pdf
- 标记方法、标记装置、智能机器人及可读存储介质.pdf
- 一种电解电容的极性识别成型装置.pdf
- 一种大规格高纯均质细晶铝合金铸锭及铸造方法.pdf
- 一种连铸板坯凝固末端凸形压下辊及其制备工艺.pdf
- 一种便于调节的农作物用覆膜机.pdf
- 人脱落乳牙牙髓干细胞的应用.pdf
- 一种随车吊自带离去角后支腿.pdf
- Haier海尔413升风冷变频多门冰箱 BCD-413WGHFD1BSJU1(白)说明书用户手册.pdf
- Siemens西门子工业抽屉式断路器主回路后垂直连接 抽屉式断路器主回路后垂直连接使用手册.pdf
- Samsung三星智能佩戴设备 Galaxy Fit3安全手册.pdf
- Samsung三星滚筒洗衣机 AI神 黑钻热泵洗烘旗舰 WD18DB8995BZSC使用手册.pdf
- Sakura樱花消毒柜 保洁柜消毒柜 SCQ-130D6用户手册说明书.pdf
- Hifiman头领科技ARYA UNVEILED说明书用户手册.pdf
- Siemens西门子工业抽屉式主回路连接前置端子 支撑件 抽屉式主回路连接前置端子 支撑件使用手册.pdf
- Siemens西门子工业中性线的外部电流传感器 中性线的外部电流传感器使用手册.pdf
- Siemens西门子工业电子脱扣单元 电子脱扣单元使用手册.pdf
- Razer雷蛇Playstation 专用雷蛇战锤狂鲨极速版 RZ12-038203 用户指南 (简体中文)说明书用户手册.pdf
文档评论（0）