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一种基板输送装置以及基板输送方法.pdf

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本发明公开了一种基板输送装置以及基板输送方法,属于机械设备领域。本发明技术方案要点:其能够延长引导辊的寿命,并且不蜿蜒前行地输送基板。该基板输送装置具有多个输送辊,其与所述基板的下表面抵接,将所述基板向规定的输送方向输送;引导辊,其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板,并且沿着所述基板的输送方向配置有多个;以及引导辊调整部,其调整所述引导辊的位置,引导辊调整部具有:第一可动部件,其将引导辊保持成能够旋转;和Z轴调整机构,其调整第一可动部件在基板的厚度方向上的高度位置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112158600 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010898888.0 (22)申请日 2020.08.31 (71)申请人 张圆强 地址 537

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