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电子厂房洁净室气流组织技术规范 Technical specification for airflow in cleanroom ofelectronicworkshop 1 总 则 1.0. 1 本标准规定了电子厂房洁净室的设计、施工、检测验收及运行维护阶段的气流组织 技术规范。 1.0.2 本标准适用于电子行业洁净工程的设计、施工、检测验收和运行维护，相关行业协 会、设计院、施工单位、认证机构等可参照使用。 1.0.3 电子厂房洁净室气流组织除应符合本规程外，尚应符合现行国家、行业及地方有关 标准的规定。 4 2 术 语 2.0. 1 全新风机组 Make-upAirUnit （MAU） 提供新鲜空气的一种空气调节设备。 2.0.2 风机过滤器单元 Fan FilterUnit （FFU） 由风机箱和高效过滤器等组成的用于洁净空间的单元式送风单元。 2.0.3 干盘管 Dry Cooling Coil （DCC） 空调系统中供空气冷却用的盘管，其管内空调水温度高于空气露点温度。 2.0.4 气流组织 Airflow Pattern 室内空气流动的形态和分布状态。 2.0.5 单向流 UnidirectionalAirflow 单向流洁净室也被称为层流洁净室，是指通过洁净室 （区）整个断面的风速稳定，气流 流线大致平行的受控气流。 2.0.6 非单向流 Non-unidirectionalAirflow 又称为乱流，送入洁净室 （区）的送风以诱导方式与室 （区）内空气混合的气流分布类 型，室内的气流并不都按单一方向流动。 2.0.7 计算流体力学 ComputationalFluidDynamics （CFD） 用电子计算机和离散化的数值方法对流体力学问题进行数值模拟和分析。 2.0.8 仿真模型 Simulation Model 用于进行数值模拟的计算机数字模型。 2.0.9 流场 Flow Field 计算流体介质所占据的空间区域。 2.0. 10 计算域 Simulation Domain 在CFD 数值模拟过程中参与数值计算的区域，其几何边界一般包括进口、出口和周围 壁面。 2.0. 11 加密区域 RefinedRegion 针对计算域中的关键对象或流体域进行局部网格加密处理的区域。 3.0. 12 洁净存储搬运系统 Stocker （STK） 用于临时存储或转运玻璃基板或晶圆的区域。 5 2.0. 13 加载/减载设备 LoadUnload （LUL） 用于洁净室玻璃基板搬运、转存。 2.0. 14 自动搬运系统 AutomaticMaterialHandling System （AMHS） 用于物料搬运与传送，包含OHS、OHCV、OHT、AGV 等 2.0. 15 高空无人搬运车 Over Head Shuttle/ Conveyor/ Transport （OHS/OHCV/OHT） 用于高空物料搬运与传送 2.0. 16 无人搬运车 Automated GuidedVehicle （AGV） 用于地面自动物料搬运。 6 3 气流组织设计要求 3. 1 洁净室气流组织设计 3. 1. 1 为保证空气洁净度等级，应根据空气洁净等级的不同要求，按表3.1.1 中的有关数据 选择不同的气流流型。 1 空气洁净度等级要求严于4 级时，应采用单向流，气流偏角≤14°，平均风速0.3~0.5 m/s； 2 空气洁净度等级为4 级~5 级时，应采用单向流，气流偏角≤14°，平均风速0.2~0.4 m/s； -1 3 空气洁净度等级为6 级时，应采用非单向流，换气次数50~60h ；