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本发明公开了用于分析浆料输送系统中的CMP浆料的大型颗粒计数器的自动验证方法,该浆料输送系统包括用于使用原料制造和输送浆料的输送设备、以及具有传感器的分析仪,该传感器从输送设备接收浆料样品以检验浆料是否异常。该验证方法包括以下步骤:如果分析仪的测量值超出允许范围且产生异常信号,则将从输送设备输送到分析仪的标准材料而不是浆料提供给分析仪,以获得相对于标准材料的标准材料测量值;如果标准材料测量值在预定的正常范围内,则判断浆料存在异常,并检验原料或输送设备以找出异常原因;以及,如果标准材料测量值超出正
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112204720 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 201980004292.7 (74)专利代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限
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