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2023-05-24 发布于四川
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一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法.pdf

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本发明涉及一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法，属于单晶硅生产技术领域。直拉法单晶炉包括炉体，炉体内设置有坩埚和加热器，坩埚包括用于盛装熔体的石英坩埚和包裹在石英坩埚外的石墨坩埚，加热器设置在石墨坩埚的外侧，石墨坩埚的底部设有坩埚轴和测温装置，测温装置穿过所述坩埚轴中心并插入石墨坩埚的底部，测温装置的底部引出有与数据处理器连接的信号数据线。通过在石墨坩埚的底部设置测温装置，用于测量石英坩埚底部的温度，实时获得在拉晶过程中石英坩埚底部的温度变化，从而调整加热器的功率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176400 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011063763.2 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人刘博旸地址 310

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