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本发明提供一种激光功率可控的小型化VCSEL激光器,包括:VCSEL器件(6),直接裸管,或与过渡支架(15)结合,形成VCSEL组件;光电探测器芯片(8)与控制电路芯片(7)组成集成芯片(12),集成芯片(12)用于探测VCSEL器件(6)出射的光,并对VCSEL器件(6)光的输出进行调控;VCSEL组件、集成芯片混合集成组装于热沉(14)上,管帽(11)与之形成封装结构,组成一体化器件。本发明提供的激光器体积小、制备工序简便、便于组装至各种模块及装置装备中,可以实现激光功率一致的大面积阵列集
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112202050 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202011074105.3
(22)申请日 2020.10.09
(71)申请人 中国
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