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本发明实施例提供一种硅晶体的制备方法,包括:提供硅溶液,硅溶液中掺杂有第一掺杂离子以及第二掺杂离子,第一掺杂离子为N型掺杂离子或者P型掺杂离子中的一者,第二掺杂离子为N型掺杂离子或者P型掺杂离子中的另一者,且第一掺杂离子在硅溶液中的分凝系数大于第二掺杂离子在硅溶液中的分凝系数;对硅溶液进行凝固处理,以凝固部分硅溶液形成具有第一掺杂离子的第一类型硅晶体区,在形成第一类型硅晶体区之后,凝固剩余硅溶液形成具有第二掺杂离子的第二类型硅晶体区。本发明实施例有利于提高硅晶体的成品产出率,降低硅晶体的制备成本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112195515 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202011051284.9 C30B 28/10 (2006.01)
(22)申请日 2
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