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本发明涉及一种硬脆材料加工方法,具体涉及一种在硬脆材料表面加工螺纹的方法及系统。克服传统单点扫描加工存在的加工精度低、加工效率低的问题,方法包括:安装工件、调平待加工的硬脆材料工件、确定激光焦点位置、确定加工程序及加工。系统包括四轴运动平台及激光加工系统;激光加工系统包括飞秒激光器,依次设置在飞秒激光器出射光路中的扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、空间光调制器、二向色镜、二色相镜、二维扫描振镜及场镜。本发明基于扫描振镜实现线扫描加工,C轴每转一定角度,即可实现该角度下所有单槽一层的加工,C轴旋转3
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112171053 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202010871810.X
(22)申请日 2020.08.26
(71)申请人 中国科学院西安光学精密机械研究
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