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本发明提供了一种基于倏逝波耦合方式的波导集成光电探测器,涉及集成光电子技术领域。工作时在阴极和阳极加载反偏电压,通过吸光层对脊型波导的脊部呈半包围分布的结构,吸光层可对硅脊波导的顶部和两侧接触面传递的光信号进行高效吸收,在吸光层尺寸相同的条件下,本发明实施例中吸光层对光的吸收效率可达87.1%(归一化数据),并提高吸光层对光的吸收效率、光生电流以及响应度,进而提高光电转换能力。且与常规的基于倏逝波耦合方式的波导集成光电探测器相比,本发明中,波导的宽度和厚度符合相同工艺要求,吸光层的宽度、厚度相同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112201706 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010901062.5
(22)申请日 2020.08.31
(71)申请人 中国
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