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2023-05-24 发布于四川
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一种声学谐振器组件及滤波器.pdf

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本发明公开了一种声学谐振器组件及滤波器，声学谐振器组件包括至少两个相互垂直连接的声学谐振器，声学谐振器包括：分别设置在衬底上的声学镜、底电极层、压电层以及顶电极层，声学谐振器的有效区域由声学镜、底电极层、压电层和顶电极层的重叠部分定义，声学谐振器还包括支撑层，其设置在声学镜投影于衬底的区域外围的衬底或压电层上，至少两个相互垂直连接的声学谐振器通过在支撑层上进行连接。本发明加工的滤波器显著降低器件的体积65％以及面积40％，提升了设计自由度而降低设计难度，优化了工艺制程并提高工艺兼容性，增强了产品

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112187212 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010990291.9 (22)申请日 2020.09.18 (71)申请人杭州星阖科技有限公司

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