- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种负载效应的监控方法和版图,该方法包括:通过光刻工艺在晶圆上形成至少两种类型的器件图形和量测图形,不同类型的图形的特征尺寸不同,量测图形的特征尺寸大于器件图形;进行刻蚀,晶圆被器件图形所暴露的区域被刻蚀形成器件沟槽,晶圆被量测图形暴露的区域被刻蚀形成量测沟槽;通过原子力显微镜量测量测沟槽的深度,根据量测沟槽的深度监控不同类型的器件沟槽之间的负载效应。本申请通过原子力显微镜量测得到量测沟槽的深度,通过不同类型的量测沟槽的深度监控不同类型的器件沟槽之间的负载效应,由于不需要对晶圆进行切
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112185836 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202011021122.0
(22)申请日 2020.09.25
(71)申请人 华虹半导体(无锡)有限公司
您可能关注的文档
- 一种通过定位拦截实现虚拟导航的方法、系统及存储介质.pdf
- 基于能量捕获的用户导向型协作NOMA传输协议.pdf
- 一种有翼水力挤压推进型智能水下无人航行器.pdf
- 一种智能地热取暖器.pdf
- 一种耳机唤醒方法、装置、耳机及介质.pdf
- 一种可移动梯子.pdf
- 一种冷水机组干式蒸发器.pdf
- 一种考虑网架约束的新能源有效容量计算方法及系统.pdf
- 一种吸风电机组件及清洁设备.pdf
- 现货市场下的发电计划编制方法、系统、设备及存储介质.pdf
- 2024-2025学年高中语文必修五苏教版教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中数学九年级上册沪教版(五四学制)(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学劳动五年级上册粤教版(主编:徐长发)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中信息技术(信息科技)七年级上册黔教版教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中信息技术(信息科技)八年级上册南方版(湖南)(2019)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学科学五年级下册冀人版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中英语人教版日语教学设计合集.docx
- 2024-2025学年高中数学必修 第一册苏教版(2019)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学劳动一年级下册人教版《劳动教育》教学设计合集.docx
- 2024-2025学年高中语文选修鲁教版教学设计合集.docx
文档评论(0)