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本申请涉及一种激光脉冲整形装置及其方法、脉冲整形器、光学系统;光脉冲整形装置包括:脉冲整形器设置在连接激光光源的设备光路上,激光检测装置设置在激光脉冲作用对象的实际位置处;激光光源用于产生激光脉冲,通过所述设备光路传输后发射到所述作用对象上;激光检测装置用于测量发射到作用对象上的激光脉冲的光学参数并发送至所述控制装置;控制装置根据光学参数计算出相位补偿参数,并根据相位补偿参数控制脉冲整形器对经过设备光路的激光脉冲的相位进行补偿,使得发射到所述作用对象上的激光脉冲的光学参数达到目标值。该方案降低了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112186475 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202010977383.3
(22)申请日 2020.09.16
(71)申请人 飞秒
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