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本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器,以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的检测值的变化的入射角、光路的折曲方向。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112204831 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 201880093960.3 (51)Int.Cl.
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