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2023-05-24 发布于四川
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底部发射垂直腔表面发射激光器(VCSEL)结构包括允许光通过其中的第一基底、n掺杂分布式布拉格反射器(nDBR)、p掺杂分布式布拉格反射器(pDBR)、一个或多个有源层、高对比度光栅镜和电介质增强金属镜中的至少一者、以及多个层，其中，VCSEL结构被配置为倒装到第二基底。pDBR和nDBR限定在它们之间垂直延伸并包含一个或多个有源层的激光器腔。高对比度光栅镜和电介质增强金属镜中的至少一者可以布置在pDBR之上。多个层可以布置在高对比度光栅镜和电介质增强金属镜中的至少一者之上，以光学且气密地密封激

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112204832 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 201980036730.8 (74)专利代理机构北京市汉坤律师事务所

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