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本发明提供了一种微流量控制装置及其控制和阀门检测方法，包括流体管道、流体驱动机构；多个流体驱动机构在流体管道内部，且沿流体管道延伸方向依次分布；所述流体驱动机构包括电导通件、变形件；所述变形件包括磁致、电致或者热致变形部件；能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动。本发明在流体管道管径不变的情况下，就可以高度集成流体驱动机构，实现流量的步进式的驱动，并且可以灵活地切换沿流体管道不同的两个方向驱动。本发明可以采用磁力驱动方式，也提供了采用磁之外的电的控制方式，从而尤其适用于存在磁干扰或者不能生成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108873950 A
(43)申请公布日
2018.11.23
(21)申请号 20171
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