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本发明提供了一种聚热罩的束源结构，包括底座、螺旋设置于底座上的聚热罩，所述聚热罩的相邻螺旋层之间设置有层间隙，所述聚热罩外侧罩设有外罩，所述聚热罩内侧围置有加热组件。本发明的有益效果体现在：本发明的聚热罩呈螺旋一体置于底座上，且每一层之间互不连接，切断了径向的热传导。同时，通过在聚热罩上开设交错设置的开口，大大延长了热传导路径，结合加热丝的分布密度，以更好的提高对坩埚的加热效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112195442 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010972947.4
(22)申请日 2020.09.16
(71)申请人 苏州方昇光电股份有限公司
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