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本发明公开了一种用于镀膜机的激光直接光控装置,包括光源、信号接收器和工装部件,所述工装部件上设有至少两个成膜基座,所述两个成膜基座设置在以所述工装部件的中心为圆心的圆周上;至少一个所述成膜基座为监控基座,所述监控基座上设有至少一个监控基片;还包括遮挡部件,所述遮挡部件设置在所述监控基座靠近蒸发源的一侧,所述遮挡部件的厚度方向设有通孔,所述遮挡部件和监控基座转动配合,使得所有的所述监控基片均可以通过所述通孔暴露、且每次只有其中一个所述监控基片通过所述通孔暴露。本发明的用于镀膜机的激光直接光控装置,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112176309 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202011354676.2
(22)申请日 2020.11.27
(71)申请人 江苏永鼎光电子技术有限公司
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