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2023-05-24 发布于四川
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一种单晶金刚石生长过程中的监测装置.pdf

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本发明适用于单晶金刚石生产设备技术领域，提供了一种单晶金刚石生长过程中的监测装置；包括：底座；固定安装在底座上的文丘里管、第一混合腔、第二混合腔、电离室和沉积室；所述沉积室上设置有观察窗，所述底座上固定安装有支架，所述支架上设置有位置可调的监测设备，所述监测设备设置在观察窗的上方；所述文丘里管、第一混合腔、第二混合腔、电离室和沉积室依次连通；所述文丘里管的颈部设置有与其内部连通的第一输入端。本发明实现了对金刚石成长情况的检测，同时保证了金刚石的成长质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112197728 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 202010976204.4 (22)申请日 2020.09.16 (71)申请人北京清碳科技有限公司

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