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本发明公开了一种在片上波导上的原位损耗测量装置及方法，该方法步骤包括：搭建在片上波导上的原位损耗测量装置，调节光路使激光端面耦合进入波导中，将抖动的探针放置到待测波导某位置的中心处；抖动的探针与片上波导中的导模倏逝场相互重叠后，产生调制信号光，调制信号光为第一信号光和第二信号光的叠加；扫频激光器扫频，提取锁相放大器的解调信号；对该位置的解调信号进行傅里叶分析，得出探针的位置和该位置的相对振幅，相对振幅为第一信号光和第二信号光振幅的比值；根据具体需要测量的损耗类型选择探针需要摆放的位置，根据每个位
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112197941 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010978883.9
(22)申请日 2020.09.17
(71)申请人 暨南大学
地址 51
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