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液处理装置和液处理方法.pdfVIP

液处理装置和液处理方法.pdf

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    本发明提供一种液处理装置，其包括罐、循环通路、泵、多个液处理部和多个供给通路，循环通路具有设有泵的主通路部分和从主通路部分分支的第一分支通路部分和第二分支通路部分，从罐流出的处理液在通过主通路部分后流入各分支通路部分，并通过各分支通路部分返回罐，多个液处理部被划分为第一处理部组和第二处理部组，多个供给通路被划分为第一通路组和第二通路组，属于第一处理部组的液处理部分别经由属于第一通路组的供给通路连接于第一分支通路部分，属于第二处理部组的液处理部分别经由属于第二通路组的供给通路连接于第二分支通路部分

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112185845 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 20201

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