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本申请提供一种铌酸锂薄膜超晶格的制备方法，包括：1)制备套刻标记；2)根据套刻标记，在x切的铌酸锂薄膜表面制备周期性叉指电极结构；3)在光刻好的叉指电极结构上镀金属电极；4)去除光刻胶，得到周期性叉指电极；5)在一侧叉指电极上接入电极正极，另一侧叉指电极接地，施加电场，使得叉指电极之间畴翻转，去除电极，得到第一周期性畴翻转结构；6)将套刻标记向右平移一个周期的距离，重复步骤2)～5)，得到第二周期性畴翻转结构；7)重复执行步骤6)，直至得到的所有畴翻转结构之间的间距相等，完成制备。采用前述的方案
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112195520 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202011060218.8
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 南京南智先进光电集成技术研究院
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