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光偏转器及扫描型激光显微镜,能够抑制可动部(110)的光学反射面(114)的动态变形,并且能够小型化,光偏转器具有:所述可动部,其具有反射镜部(112)和保持所述反射镜部的反射镜保持部(120),所述反射镜部具有所述光学反射面(114)和第一肋(116),所述反射镜保持部具有在与所述第一肋交叉的方向上排列且在与所述第一肋的交点处与所述第一肋接合的第二肋(122);一对弹性部件(132、134),它们以使可动部能够以摆动轴为中心摆动的方式支承所述可动部;以及一对支承部(142、146),它们与所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112204449 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 201880094063.4 (51)Int.Cl.
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