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本发明公开了一种方硅芯铸锭炉热场结构及制备方法，主要以解决热场温度分布不均匀，生长出的晶体易开裂的问题。包括：炉体，所述炉体分为上炉体与下炉体；隔热层，所述隔热层设置在所述炉体中；立柱，所述立柱固定在所述下炉体上；热交换台，所述热交换台固定在所述立柱上；隔热板，所述隔热板设置在所述隔热层的底部，所述立柱穿过所述隔热板，所述隔热板能够在所述立柱上升降。本发明获得了热场稳定、利于晶体生长、能耗降低的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112176407 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202011132224.X
(22)申请日 2020.10.21
(71)申请人 苏州昀丰半导体装备有限公司
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