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本发明提供一种晶圆清洗装置,包括箱体框架和空气清洁组件。箱体框架包括箱体框架底板。空气清洁组件设置在箱体框架内部,包括:设置于底板上的底板清洗液路和排液口。底板清洗液路适于使清洗液完全或部分的覆盖箱体框架底板。排液口连通箱体框架外部,适于将箱体框架底板积存的清洗液排出箱体框架。本发明提供的晶圆清洗装置,可以不必在清洗空间内部再单独设置风机,同时还可以确保最终对于晶圆自身的清洗效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112201592 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010956325.2
(22)申请日 2020.09.11
(71)申请人 北京烁科精微电子装备有限公司
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