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半导体装置及其检查方法。在半导体装置中,形成于半导体衬底的表面上的PCMTEG区域(100)被分为主PCMTEG区域(101)和子PCMTEG区域(102),并且在子PCMTEG区域(102)集中配置有对电特性值有标准的所有TEG。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112201644 A
(43)申请公布日 2021.01.08
(21)申请号 202010638705.1
(22)申请日 2020.07.06
(30)优先权数据
2019-1270
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