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本发明涉及一种衍射光学元件,其包括具有对于干蚀刻工艺不同的蚀刻速度的至少两个层。该衍射光学元件包括玻璃衬底(12)和布置在玻璃衬底(12)上的微结构层(10)。玻璃衬底(12)在厚度方向上的干蚀刻速度与微结构层(10)在厚度方向上的干蚀刻速度的比率不大于1:2、优选不大于1:5、更优选不大于1:10、或者最优选不大于1:20,使得衬底起蚀刻停止层的作用。玻璃衬底(12)在水平方向上的干蚀刻速度与微结构层(10)在水平方向上的干蚀刻速度基本上相等。玻璃衬底(12)的成分包含但不限于Al2O3、碱性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112180486 A
(43)申请公布日
2021.01.05
(21)申请号 20201
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